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电子束曝光机是半导体工业中的一个重要设备,为了充分研究加速电压对于电子束曝光的影响,高压透射电子显微镜被改造成电子束曝光系统.改造后的系统将用于研究加速电压和光刻
本文论述了高原训练对机体生理生化的影响及营养恢复,为教练员提供一定的理论指导。
This article discusses the effect of plateau training on physiological and bioche
本文重点介绍利用可变矩形束电子束曝光机精确制版中间掩模板或在硅片上直写图形时,如何通过校准子程序对电子束的形态及位置进行调整,使制版的精度要求得到保证.经过调整,使
本文简述了实用化电子束曝光机真空系统设计要求、系统组成、真空自动控制及设备所达到的真空指标.
电子束曝光SAL-601(ER7)负性抗蚀剂主要用于凸立的精细线条图形制作,徐秋霞、刘明[1]等人已经成功地制备了线宽小于70nm的孤立线条(Isolated Line).本文重点研究小于50nm的孤
本文介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案,该方案具有标记检测和曝光扫描两项基本功能,同时增加了圆形和圆环图形的处理功能.通过将现有图形发生器的功能移植
电子束散射角限制投影光刻(SCALPEL—Scattering with Angular Limitation Electron Projection Lithography)技术是下一代光刻技术的主要候选者,其中掩模研制是其关键技术之
基于动态单因子模型,本文就1996~2008年中国与美国、日本和欧盟三大经济体的周期关联问题进行了探索,结论认为:存在两种力量左右着中国经济与世界经济的联动,一种是日益扩大的对外经济联系具有使中国经济波动“收敛于”世界经济波动的倾向;一种是国内特殊的投资和消费模式具有使中国经济波动“脱钩于”世界经济波动的倾向。从中国入世之后GDP国际关联的特征来看,“收敛性”力量更强一些;而计量分析进一步表明中国经济增长波动的约58%可以由世界公共因子来解释。由此可见,中国经济的全面复苏还有赖于外部环境的改善。
随着移动通讯系统的迅速发展,声表面波器件(SAW)使用频率不断提高,从最初的几MHz到现在的几GHz,其线宽也进入亚微米、深亚微米阶段,如何制得精细的叉指换能器电极成为声表器
单电子晶体管(SET)是一种基本的单电子器件,基于库仑阻塞效应和量子隧穿效应工作,具有库仑振荡效应和库仑台阶效应等量子效应.本文重点介绍采用电子束光刻(EBL)技术、感应耦