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电子束直写技术在金刚石声表面波器件制作中的应用

来源 :第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zyhope006

【摘 要】

：

随着移动通讯系统的迅速发展,声表面波器件(SAW)使用频率不断提高,从最初的几MHz到现在的几GHz,其线宽也进入亚微米、深亚微米阶段,如何制得精细的叉指换能器电极成为声表器

【作 者】

：

牛洁斌[1]陈菁菁[2]刘明[1]陈宝钦[1]王云翔[1] 

【机 构】

：

中国科学院微电子中心

【出 处】

：

第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

【发表日期】

：

2003年期

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论文部分内容阅读

随着移动通讯系统的迅速发展,声表面波器件(SAW)使用频率不断提高,从最初的几MHz到现在的几GHz<[2]>,其线宽也进入亚微米、深亚微米阶段,如何制得精细的叉指换能器电极成为声表器件制作的关键.本文重点介绍采用具有比光学曝光设备更高精度的JBX 5000LS电子束光刻系统,利用电子束直写(EDBW)技术制造声表面波器件的技术.

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