一种新型图形发生器的硬件方案

来源 :第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a954862

【摘要】

：

本文介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案,该方案具有标记检测和曝光扫描两项基本功能,同时增加了圆形和圆环图形的处理功能.通过将现有图形发生器的功能移植

【作者】

：

张鹏方光荣

【机构】

：

中国科学院电工研究所

【出处】

：

第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

【发表日期】

：

2003年期

【关键词】

：

图形发生器数字信号处理器电子束曝光系统硬件实现方案基本功能核心模块功能移植处理功能标记检测硬件化光扫描运算圆形圆环设计弊端

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案,该方案具有标记检测和曝光扫描两项基本功能,同时增加了圆形和圆环图形的处理功能.通过将现有图形发生器的功能移植至数字信号处理器,使各种图形硬件化,提高了图形的运算和处理速度,克服了以前图形发生器存在的许多弊端.文中对核心模块的设计进行了详尽的介绍.

其他文献

山西省引黄工程平洞、竖井混凝土质量检测及缺陷处理

山西省万家寨引黄入晋工程是一项大型跨流域引水工程,2002年3月山西省万家寨引黄工程总公司委托中国水利水电科学研究院对3座地面泵站出水压力平洞非钢衬段和出水竖井等工程

会议

桃峪口水库溢洪道安全检测

本保证桃峪口水库的安全运行,本文对水库溢洪道混凝土建筑物及金属结构进行了全面的检测和安全评价.并针对混凝土的老化病害,提出了修补处理的建议.

会议

水库溢洪道安全检测

天生桥水利枢纽坝体混凝土施工质量检测与分析

天生桥水利枢纽位于陕西省宁强县境内,是一项引嘉(陵江)入汉(江)中型跨流域引水梯级工程,在施工过程中,检查发现拱坝观测廊道上游仅在3~5m高水头压力下产生16处大的漏(射)水

会议

水利枢纽混凝土施工质量拱坝

高能纳米级电子束曝光系统研制的必要性与可行性分析

与传统的直写式电子束曝光机相比,高能电子束曝光系统由于减小了入射电子的前向散射,在理论上应该具有更高的分辨率.本文在阐述了高能电子束曝光系统研制必要性的基础上,对其

会议

纳米级电子束曝光系统系统研制电子束曝光机入射电子前向散射分辨率理论基础改造

采用电子束/I线混合光刻技术制备0.25微米射频SOI NMOS器件的研究

该项研究基于中科院微电子中心深亚微米硅工艺平台,采用了电子束和I线混合光刻加工技术,成功的试制了0.25um SOI NMOS射频器件,阈值电压0.4-0.45伏,沟道导通跨导Gm为195-200m

会议

电子束混合光刻技术深亚微米射频前端加工技术阈值电压应用前景特征频率射频器件集成电路中科院微电子硅工艺中心试制平台跨导开发沟道

透射电子显微镜改造为电子束曝光系统

电子束曝光机是半导体工业中的一个重要设备,为了充分研究加速电压对于电子束曝光的影响,高压透射电子显微镜被改造成电子束曝光系统.改造后的系统将用于研究加速电压和光刻

会议

透射电子显微镜仪器改造电子束曝光系统加速电压电子束曝光机图形发生器半导体工业重要设备设计高压光刻胶工件台的改造征之精度结构方法

高原训练及营养恢复

本文论述了高原训练对机体生理生化的影响及营养恢复,为教练员提供一定的理论指导。 This article discusses the effect of plateau training on physiological and bioche

期刊

高原训练呼吸骨骼肌激素心血管系统营养恢复低氧训练大负荷训练耐力训练力竭运动

可变矩形束电子曝光机电子束形态的精确修正

本文重点介绍利用可变矩形束电子束曝光机精确制版中间掩模板或在硅片上直写图形时,如何通过校准子程序对电子束的形态及位置进行调整,使制版的精度要求得到保证.经过调整,使

会议

可变矩形束电子束曝光机形态旋转精度制版旋转角度精度要求光阑成型子程序掩模板扫描场状况校准位置图形拼接检测硅片

实用化电子束曝光机的真空系统

本文简述了实用化电子束曝光机真空系统设计要求、系统组成、真空自动控制及设备所达到的真空指标.

会议

电子束曝光自动控制真空系统

电子束曝光SAL-601负性抗蚀剂技术研究

电子束曝光SAL-601(ER7)负性抗蚀剂主要用于凸立的精细线条图形制作,徐秋霞、刘明[1]等人已经成功地制备了线宽小于70nm的孤立线条(Isolated Line).本文重点研究小于50nm的孤

会议

电子束曝光负性抗蚀剂线条阵列图形图形制作线宽

一种新型图形发生器的硬件方案

其他学术论文