用激光聚焦原子制作纳米结构的背景分析

来源 :第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dong_0622

【摘要】

：

用激光驻波场作为原子透镜阵列对原子束进行聚焦,由于热原子束的速度分布、发散角、衍射效应等的影响,原子透镜存在像差.原子透镜的像差和同位素原子是产生本底层、降低图形

【作者】

：

陈献忠;姚汉民;陈旭南;石建平;陈元培;

【机构】

：

中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(四川成都)

【出处】

：

第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

【发表日期】

：

2003年期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用激光驻波场作为原子透镜阵列对原子束进行聚焦,由于热原子束的速度分布、发散角、衍射效应等的影响,原子透镜存在像差.原子透镜的像差和同位素原子是产生本底层、降低图形对比度的主要因素.针对各种因素产生图形背景的机理,提出优化实验参数、增加透射掩模和利用刻蚀工艺减少或消除图形背景、提高图形对比度的三种解决方案.

其他文献

电子束曝光SAL-601负性抗蚀剂技术研究

电子束曝光SAL-601(ER7)负性抗蚀剂主要用于凸立的精细线条图形制作,徐秋霞、刘明[1]等人已经成功地制备了线宽小于70nm的孤立线条(Isolated Line).本文重点研究小于50nm的孤

会议

电子束曝光负性抗蚀剂线条阵列图形图形制作线宽

一种新型图形发生器的硬件方案

本文介绍了一个电子束曝光系统图形发生器的硬件实现方案,该方案具有标记检测和曝光扫描两项基本功能,同时增加了圆形和圆环图形的处理功能.通过将现有图形发生器的功能移植

会议

图形发生器数字信号处理器电子束曝光系统硬件实现方案基本功能核心模块功能移植处理功能标记检测硬件化光扫描运算圆形圆环设计弊端

SCALPEL掩模研制的技术难点

电子束散射角限制投影光刻(SCALPEL—Scattering with Angular Limitation Electron Projection Lithography)技术是下一代光刻技术的主要候选者,其中掩模研制是其关键技术之

会议

掩模制作下一代光刻技术投影光刻技术难点关键技术工艺条件散射角分辨率电子束英寸线宽微米

中国经济周期的国际关联

基于动态单因子模型，本文就1996～2008年中国与美国、日本和欧盟三大经济体的周期关联问题进行了探索，结论认为：存在两种力量左右着中国经济与世界经济的联动，一种是日益扩大的对外经济联系具有使中国经济波动“收敛于”世界经济波动的倾向；一种是国内特殊的投资和消费模式具有使中国经济波动“脱钩于”世界经济波动的倾向。从中国入世之后GDP国际关联的特征来看，“收敛性”力量更强一些；而计量分析进一步表明中国经济增长波动的约58％可以由世界公共因子来解释。由此可见，中国经济的全面复苏还有赖于外部环境的改善。

期刊

动态单因子模型次贷危机国际经济周期关联

电子束直写技术在金刚石声表面波器件制作中的应用

随着移动通讯系统的迅速发展,声表面波器件(SAW)使用频率不断提高,从最初的几MHz到现在的几GHz,其线宽也进入亚微米、深亚微米阶段,如何制得精细的叉指换能器电极成为声表器

会议

单电子晶体管的原理及其与传统硅集成电路工艺相兼容的加工方法

单电子晶体管(SET)是一种基本的单电子器件,基于库仑阻塞效应和量子隧穿效应工作,具有库仑振荡效应和库仑台阶效应等量子效应.本文重点介绍采用电子束光刻(EBL)技术、感应耦

会议

基于Landsat ETM+数据的太湖水质等级反演

鸡西矿业集团公司张辰煤矿西三采区3

期刊

FIB(聚焦离子束)在微电子技术中的应用

FIB(Focused Ion Beam)是聚焦离子束技术的简称.该技术集形貌观察、定位制样和电路修正等功能于一身,大大提高了大规模集成电路失效分析的精度和速度,使传统的微分析技术有了

会议

聚焦离子束技术微电子技术失效分析大规模集成电路微分析技术微电子设计形貌观察Ion Beam制样用水精度功能定位

硅微尖端的研制和应用

利用半导体微细加工工艺,在硅片上制作出高150μm、尖端直径小于1μm的硅尖端阵列.还成功地研制了高1.5μm、尖端直径小于0.2μm的场致发射硅微尖端,并测试了其三级管特性.为

会议

微尖端微细加工工艺硅尖端反应离子刻蚀电子束曝光直径域的应用场致发射三级管硅纳米半导体制作阵列特性锐化硅片方法测试

关于中日经济规模的国际比较

本研究主要讨论中国与日本的经济规模比较。在综述了各研究者对中国国际可比GDP的测算方法和结果的基础上，以1995年为基年用生产法测算了中目的可直接比较行业的双边购买力平价（PPP），并利用三种方法测算了非直接比较行业的PPP以得到国民经济总体的PPP，利用增长率法和GDP减缩指数法推算了1996～2004年日本的以人民币表示的GDP。本文发现至少从2003年开始，中国GDP与日本相当，在2004年，中国的GDP是日本的1．03～1．11倍。

期刊

经济规模国际比较购买力平价生产法

用激光聚焦原子制作纳米结构的背景分析

其他学术论文