紫外光刻相关论文
在生物组织中,细胞常常受到所在环境施加的力学和化学信号的影响。越来越多的证据表明,环境力学信号可能会导致染色质三维构象的变......
介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺, 并以......
自电致变色效应第一次被报道以来,在这几十年里,电致变色效应得到了很多的研究,很多电致变色材料被陆续发现和研究,各种各样的电致......
引言rn 波长248 nm的KrF准分子激光器广泛用于不同技术领域，例如不同材料的微加工、紫外光刻和打标等。提高激光器的平均功率或脉冲......
1986年德国教授W.Ehrfeld首先开发的LIGA技术(lithographic、 Galvanformug、Abformug)实现了深度X射线光刻、电铸成型和塑料铸模......
微小金结构在航空工业以及电子工业中应用广泛。UV-LIGA技术是一种低成本,大批量制造微小金属结构的方法,因此,使用这一技术可以大......
近年来，由于复合折射透镜具有独特的光学性能，已成为X射线光学领域内的一个重要研究方向，其研究成果广泛应用于第三代同步辐射光源中......
导电聚合物的发现对微电子、光电工业制造技术革新有着极其重要的影响。而构造三维微纳结构的导电聚合物图案,可以广泛应用于显示......
本文采用恒电流密度氧化法,控制电流密度,氧化时间,及氧化温度在不同电解液中制备了不同孔径高度有序的AAO模板。随着电流密度的增......
为研究基于紫外光刻加工技术的光刻胶模型形状误差与工艺参数的关系,利用正交实验法对正性光刻胶AZ9260进行了实验研究.引入田口方......
期刊
设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器,并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层,聚合物CY......
