SU-8相关论文
随着MEMS技术不断发展,除硅基材料之外,不断有各种新材料被开发用于MEMS器件的设计制造。在众多新型MEMS材料中,聚合物由于有多种......
由于其Q值高、结构尺寸小、模式体积小和没有自由光谱范围的限制等众多优势,硅基光子晶体纳米梁腔得到了越来越多的关注。但是,仍......
提出了一种解决SU 8 去胶难题的方法.该方法首先将SU- 8 微结构用PDMS进行复制,然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸,电铸完......
基于SU-8光刻胶的高深宽比加工技术,设计了对加速度敏感的悬臂梁-质量块结构。理论推导了加速度与SU-8光刻胶悬臂梁-质量块结构的......
介绍了基于阵列波导光栅(AWG)的单纤三向波分复用器的设计、仿真、制作与测试。利用阵列波导光栅的频谱周期性,采用越级衍射方法可......
提出了一种基于光刻胶牺牲层技术的用于制作多层次SU-8模具的新方法,并进一步采用浇注成型的方法制作了聚二甲基硅氧烷(PDMS)多层......
为了能得到植入在生物体内,用于体内微型电子系统与体外设备信号和能量传输的高品质因数Q值和高电感量L值的MEMS电感线圈,本文首先......
为了提高微驱动器的性能,提出了一种在氧化铟锡(ITO)玻璃上加工高深宽比SU-8微结构的方法.在导电玻璃的ITO层上涂覆一薄层AZ-4620......
MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点,其用途或潜在用途相当广泛.为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器,在充分利用SU-8特点的基础......
The volume expansion of SU-8 resist brings serious dimensional errors to electroformed structures. Two approaches have b......
设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器,并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层,聚合物CY......
采用紫外光光刻、硅蚀刻及软光刻技术分别制备了阴性光刻胶SU-8和聚乳酸及聚羟基乙酸共聚物(PLGA)微小凹图式.以人神经母细胞瘤细......
作为应用于第三代同步辐射光源的一种重要X射线元件,复合折射透镜成为近年来X射线光学研究的热点之一。平面抛物形折射透镜是复合......
Microengines are regarded as the potential replacements for batteries. Aimed at the unsatisfactory thermal property of s......
