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为了进一步开展对气浮静压导轨支承与直线电机驱动相互匹配稳定性研究,设计并研制了一种基于方箱的二维气浮工作台。二维气浮工作......
应用于液晶平板显示屏自动光学检测仪器中的气浮工作台运载单元因为其具有几乎无磨损、精度高、无污染等优点,广泛应用于光学测量......
气浮工作台是精密设备的新型线性传动导向装置，其优点主要是克服了传统工作台响应滞后大、存在摩擦等不足，可在大规模集成电路制造、......
直线驱动气浮工作台具备摩擦低、传动环节少的特点,其精度比传统的机械式工作台高两个数量级,因此成为精密运动平台的首选。气膜流......
超精密加工技术作为衡量一个国家制造技术水平的重要标志,受到了世界各国的高度重视。超精密零件尤其是超精密光学元件,在航天、国......
随着科学技术的发展,采用直线电机直接驱动工作台的方式越来越多。直线电机直接驱动与精密滚珠丝杠副传动进给方式相比,具有进给速......
