【摘 要】
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气浮工作台是精密设备的新型线性传动导向装置，其优点主要是克服了传统工作台响应滞后大、存在摩擦等不足，可在大规模集成电路制造、微机械加工、二维精细测量上广泛应用，代表着超精密、长行程的工作台的发展方向。目前，气浮工作台的国内研究与国际水平存在差距，成果尚少。关于气浮工作台的静力学和动力学性能等方面的理论研究工作还相对较少，因此，本文主要就以下方面进行较全面的性能研究分析。首先根据气浮工作台在国内外研
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气浮工作台是精密设备的新型线性传动导向装置，其优点主要是克服了传统工作台响应滞后大、存在摩擦等不足，可在大规模集成电路制造、微机械加工、二维精细测量上广泛应用，代表着超精密、长行程的工作台的发展方向。目前，气浮工作台的国内研究与国际水平存在差距，成果尚少。关于气浮工作台的静力学和动力学性能等方面的理论研究工作还相对较少，因此，本文主要就以下方面进行较全面的性能研究分析。首先根据气浮工作台在国内外研究现状，分析了该课题研究的重点和难点。遵循气浮支承的基本理论，建立了气浮工作台的数学模型
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