原子光刻相关论文
原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一。应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研......
激光会聚铬原子沉积实验所需时间可长达几十分钟至几个小时, 实验过程中要求激光频率的波动小于5MHz, 感生荧光稳频技术能够解决原......
介绍了刀口法测温原理。在自主研制的铬原子光刻系统上，利用稳定到52Cr的7S3→7P04跃迁上的真空波长为425.5 nm的激光，对高温原子炉......
采用近共振激光驻波场会聚铬原子沉积技术制作的原子光栅可以作为纳米级长度计量标准。基于粒子光学模型，综合考虑横向发散角、纵向......
利用蒙特卡罗随机思想选取轨迹初始条件,将铬原子束同位素、纵向速度分布和横向高斯发散角等因素综合考虑,对原子光刻经典粒子模型......
纳米科学技术将成为新世纪信息时代的核心 .纳米量级结构作为研究微观量子世界的重要基础之一 ,其制作技术是整个纳米技术的核心基......
原子光刻光栅的研制存在光栅上纳米周期结构覆盖面积小和纳米条纹高度不一致的问题,限制了原子光刻光栅的应用.本文介绍通过椭圆光......
研制准确适用的纳米计量传递标准是当前纳米技术领域所急需解决的问题和研究重点。利用激光驻波场汇聚原子实现纳米条纹制作的方法......
用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验.用栅网作掩膜,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂,在硅片......
原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜......
亚百纳米长度计量标准是实现在纳米尺度精确计量的关键器件。我们课题组已利用原子光刻技术研制出了周期为213±0.1nm的光栅，该光栅......
研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性,数值结果显示在激光功率较高的情况下,有实现原子光刻的可能.在单......
对增强腔在大失谐光场原子光刻中的实现进行了详细的讨论 ,通过增强腔对激光光束的压缩和功率的增强可达到近共振原子光刻的要求。......
