干涉光刻相关论文
极紫外光刻技术作为下一代光刻技术,被行业赋予了拯救摩尔定律的使命。极紫外光刻胶是极紫外光刻技术的核心子技术之一,其分辨率、......
考虑到实际入射光强的空间分布不均匀,基于Kretschmann模型并采用角谱方法分析模拟了两束高斯光干涉诱导表面等离子激元（SPP）驻波场......
基于严格的矢量耦合波方法，结合纳米级光栅实际制作工艺，定量分析了在13．4nm软X射线（TE偏振）正入射条件下，光栅材料、厚度、占空比、梯形......
超透镜因易于小型化、集成化,具有替代传统透镜的广阔应用前景。而超透镜的制备严重依赖于电子束光刻方法,制备效率低且运行成本昂......
随着空间变参量微纳米结构在新型颜色显示、裸眼3D显示、超颖表面等领域的广泛应用,其快速制备方法也成为了研究热点。本文基于4F......
微纳光纤传感器将微纳加工与光纤传感技术有机结合,具有重大的科研意义和产业化潜力。然而现有的加工技术无法在光纤端面实现任意......
纳米科学技术将成为新世纪信息时代的核心 .纳米量级结构作为研究微观量子世界的重要基础之一 ,其制作技术是整个纳米技术的核心基......
微纳结构因其具有新颖的光学特性在纳米光电子领域得到了广泛应用。作为常用的微纳结构加工方法,传统激光干涉光刻技术由于受衍射......
近年来，基于局域表面等离子共振的特性与应用研究飞速发展，并且在许多研究领域表现出潜在应用前景。同时，局域表面等离子共振金属纳米......
本文对用于惯性约束聚变中的莫尔光栅、自支撑金透射光栅和多层介质膜脉宽压缩光栅的制作工艺进行了较为系统的研究,而用于惯性约......
金属光子晶体是周期排列的金属纳米孔、纳米柱以及纳米线的结构,其基于的物理机理是粒子等离子共振效应。本文研究的对象是波导耦......
采用表面等离子激元近场增强技术可改善纳米干涉光刹成像质量，有效实现微纳米结构快速、高效、低成本制作，在传统微细加工技术较难发......
介绍了一种不用掩模的光刻技术--激光干涉光刻技术的基本原理,给出了干涉光刻技术的主要特点及一些可能的应用,并对实验系统和初步......
光子晶体是一种介电常数呈周期性变化的介质材料,它由介电常数不同的两种材料周期排列组成,因其周期性而产生了光子禁带,为了产生......
