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从应用需求出发,阐述了微水刀激光切割的基本原理,分析了其工艺特点及主要应用和研究领域,微水刀激光切割工艺的芯片切割品质优于砂轮切割及传统的激光烧蚀切割工艺,且切割速率相比砂轮切割工艺得到了极大提升.
微水刀激光切割工艺
【摘 要】
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从应用需求出发,阐述了微水刀激光切割的基本原理,分析了其工艺特点及主要应用和研究领域,微水刀激光切割工艺的芯片切割品质优于砂轮切割及传统的激光烧蚀切割工艺,且切割速
【机 构】
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河北半导体所 河北石家庄 050051
【出 处】
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商品与质量
【发表日期】
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2020年24期
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