【摘 要】
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GaAs单片微波集电路(MMIC)技术是实现移科端收发设备高性能、小型化、大批量生产、低成本的关键技术.该论文针对2.5GHz GaAs PHEMT单片微波移动通讯用低噪声放大器(LNA)技术
【出 处】
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中国科学院微电子中心 中国科学院微电子研究所
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GaAs单片微波集电路(MMIC)技术是实现移科端收发设备高性能、小型化、大批量生产、低成本的关键技术.该论文针对2.5GHz GaAs PHEMT单片微波移动通讯用低噪声放大器(LNA)技术展开了研究,论述了LNA的设计,详细讨论了亚微米及深亚微米PHEMT制造工艺,对MMIC关键工艺技术进行了研究,在电路的研究和制造中,取得了新的进展.
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