锗/硅纳米结构及存储器应用研究

来源 :南京大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qiaolei8214122

【摘要】

：

该论文采用超低压化学气相延(VLPCVD)技术,利用自组织生长原理,在硅、二氧化硅表面上制备锗纳米结构,并研究这些纳米结构的形成和演化特征;在对硅基纳米结构存储器电荷注入和

【作者】

：

吴军

【机构】

：

南京大学

【出处】

：

南京大学

【发表日期】

：

2000年期

【关键词】

：

存储器纳米结构锗/硅复合

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

该论文采用超低压化学气相延(VLPCVD)技术,利用自组织生长原理,在硅、二氧化硅表面上制备锗纳米结构,并研究这些纳米结构的形成和演化特征;在对硅基纳米结构存储器电荷注入和存储物理过程研究的基础上,提出了采用锗/硅复合纳米结构代替硅纳米结构作为MOSFET存储器电荷存储单元的新思路.在实验上,通过多步生长与化学选择腐蚀相结合制备锗/硅复合纳米结构,并利用MOS电容测量研究存储器的电学特性.

其他文献

硫化叶菌染色体外遗传因子pSSVi与病毒SSV的相互作用以及SSV的复制起始机制研究

硫化叶菌是一种广泛分布的嗜酸热古菌，最适生长温度约为80℃，最适生长pH约为3。硫化叶菌含有许多病毒和质粒，我们从硫磺矿硫化叶菌P2菌株中分离到一个新的染色体外遗传因子pSSVi

学位

硫化叶菌嗜酸热古菌染色体外遗传因子pSSVSSV相互作用病毒复制起点遗传操作

TCNQ类薄膜生长图形的理论分析与计算机模拟

在研究薄膜的超高密度信息存储和结构特性的过程中,透射电子显微镜观察到了特殊的耗散结构图形,尤以TCNQ类薄膜中出现的海马结构最为突出.该文对此类薄膜生长过程中的自组织

学位

TCNQDLA模型耗散结构自组织

超短脉冲强激光场中气体介质电离及谐波发射过程研究

该文以Spectra Physics公司引进的脉宽105fs,50mj脉冲,10Hz重复频率激光为泵浦光,利用带有抛物面反射电镜的TOF电子能谱仪实验研究气体介质在超短强激光场中电离的电子能谱;

学位

飞秒激光高次谐波TOF电子能谱仪原子电离谐波辐射电子能谱仪

欧洲文艺复兴南北方美术的差异及原因——以意大利和尼德兰为例

当时间的脚步进入中世纪,西方人终于开始被他们自己创造出来的“神灵”所禁锢,失去了作为人的意义所在,成为上帝的“神学奴仆”。在此期间,艺术家不能表现自我,完全服从于上

期刊

尼德兰欧洲文艺复兴瓦萨里表现自我名人传古典风格根特祭坛画文艺活动古代文化凡·艾克兄弟

大肠杆菌中YihE介导的喹诺酮超敏感性及调控途径研究

通过一步PCR法敲除了大肠杆菌中yihE基因，发现yihE基因突变株对nalidixie acid和ciprofloxacin等quinolone类药物均具有高度的超敏感特性，即使在细胞蛋白质合成系统被抑制时也

学位

大肠杆菌喹诺酮基因突变药物敏感性

用于调制传递函数自动测试的全电视信号发生器

该文将介绍了一个分辨率的测试方案,测试原理为空间频率法,很早就有人提出,但此前,精确测量显象管的调制传递函数一直用MTF测试卡、微光点分析仪、绘图仪来测量, 非常费时,就

学位

调制传递函数复合视频信号断续正弦波单片机

微波元件全波模拟软件包的研制及小波分析在电磁场数据处理中的应用

该文的软件研制部分,就是在实验室从事时域有限差分法研究近十年经验积累的基础上,利用可视化技术、动态数据连接库技术、多媒体技术,编制一套微波元件全波模拟软件包,使得只

学位

时域有限差分法可视化动态数据连接库多媒体小波多分辨率分析

扫描探针显微镜制作技术的研究

该文从制造的角度讨论了扫描探针显微术和实验装置-扫描探针显微镜(SPM).文章叙述了制作SPM的各个方面,主要是实际制作中的问题、经验和体会.论文先讨论了机械部分,研究了

学位

扫描探针显微镜术扫描探针显微镜(SPM)悬挂弹簧振动隔离系统反馈电路比例积分电路VectorScan

鸟类的眼球运动：动眼神经元的放电模式及其起源

人类和其他脊椎动物的水平向眼球运动是由外直肌和内直肌的协同作用产生，前者受同侧外展神经核支配，后者受同侧动眼神经核支配。本文通过单细胞记录的方法，揭示出：根据扫视期间神

学位

鸟类动眼神经元放电模式外单细胞记录外展神经核扁豆核基底视束核

壳聚糖抑菌机制的研究

壳聚糖是氨基葡萄糖和N-乙酰氨基葡萄糖通过β-1，4键连接而成的一种多用途天然聚合物糖类。壳聚糖以成本低廉、制备简单、具有生物降解性和生物相容性、抗菌效果好、抗菌谱广

学位

壳聚糖抑菌机制金属离子K+渗漏ATP渗漏微生物生长

锗/硅纳米结构及存储器应用研究

其他学术论文