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该文简要介绍了扫描探针显微镜(SPM)系统的工作原理并分析了其主要组成部分-包括探头、计算机控制系统、软件系统等的设计原则.该文对SPM的时间稳定性(X、Y方向的漂移)进行了仔细、全面的研究.测量了某商用SPM和国产SPM的漂移速率.这增加实时补偿模块对仪器的漂移做了较好的补偿.
SPM仪器漂移的测量及补偿
【摘 要】
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该文简要介绍了扫描探针显微镜(SPM)系统的工作原理并分析了其主要组成部分-包括探头、计算机控制系统、软件系统等的设计原则.该文对SPM的时间稳定性(X、Y方向的漂移)进行了
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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中国科学技术大学
【发表日期】
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1999年期
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