【摘 要】
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该文研究了一种实用的表面粗糙度非接触 测量系统-图像式表面粗糙度测量系统.该系统使条纹较像采集、处理和输出实现了微机化.该文对干涉条纹的自动拾取问题进行了研究,采用
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该文研究了一种实用的表面粗糙度非接触 测量系统-图像式表面粗糙度测量系统.该系统使条纹较像采集、处理和输出实现了微机化.该文对干涉条纹的自动拾取问题进行了研究,采用线阵CCD拾取干涉条纹高度信息,采用步进电机控制扫描运动实现水平信息采集.从而实现了垂直测量分辨力1nm和水平分辨力1.3μm的高精度条纹检测.该文还对干涉条纹的自动判读问题进行了分析,对获得的与位置信息严格对应的序信号进行平均值滤波,以去除高频噪声,平滑条纹图像.然后对所获得的准确的条纹图像数据进行自动条纹提取,得到相应的表面轮廓信息.所有处理过程都是由微机自动完成的,大大提高了测量速度.该系统现已研制成功.实验结果表明,该表面粗糙度测量系统具有自动、高精度、快速测量等优点,是实现表面粗糙度自动化测量的一个新途径,具有广阔的应用前景和实用价值.
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