【摘 要】
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该论文所研究的课题来源于航天总公司的"动压轴承球形构件超精加工在线检测技术 研究",主要进行球面气动测量系统的原理研究.作者在该项目的前期研究基础上,完成了系统软、硬
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该论文所研究的课题来源于航天总公司的"动压轴承球形构件超精加工在线检测技术 研究",主要进行球面气动测量系统的原理研究.作者在该项目的前期研究基础上,完成了系统软、硬件的设计与研究.通过理论与实际相结合,深入研究了微喷嘴高压背压式球径球度气动测量系统.使该系统在工作气压为0.4MPa,主喷嘴、测量喷嘴孔径为∮0.15mm的情况下,达到测量的线性范围为20μm,灵敏度为18mv/μm,测量分辨率为0.1μm,测量不确定 度小于0.5μm,可以准确、稳定、快速的实现球径为∮8±0.01mm半球的球径参数的评定. 该系统通过计算机进行自动数据采集、自动零位校准、自动误差补偿与修正、自动数据处理和自动球度拟合来完成球面测量.此外,该论文的研究工作将对球面测量方式方法的深入研究提供高精度的实验基础,并对高精度微喷嘴形式气动测量系统应用范围的扩展进行了有益的尝试,为工业现场高精度在线检测的研究和应用提供了理论实践的基础.
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