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来源 :西安交通大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
JM-1型纳米金刚石离子镀膜机是成功应用最新一代镀膜技术——过滤阴极真空电弧(FCVA)技术进行生产的镀膜系统.该论文以该镀膜设备为研究对象,结合其技术特点和生产工艺流程,
【作 者】
:
李冬梅
【机 构】
:
西安交通大学
【出 处】
:
西安交通大学
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
过滤阴极真空电弧
分布式监控系统
单片机
通信协议
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