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来源 :清华大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
论文以InP基“全空气/半导体”结构有源“微光电子机械系统(MOEMS)”当前研制中所面临的问题为出发点,首次提出并建立了一种新型的谐振型器件的工作原理,我们称之为“相位谐振
【作 者】
:
周丹
【机 构】
:
清华大学
【出 处】
:
清华大学
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
微光电子机械系统
谐振腔增强
垂直腔
磷化铟
高速集成光探测器
电子科学技术
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