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【摘 要】
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微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技术被广泛用来制作微传感器和微执行器等,将传统的器件尺寸带入到了微米纳米的时代;另外,MEMS集成制造技术将制造具有智
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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北京大学
【发表日期】
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2004年期
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