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错位相移相关论文
Si-SiO_2薄膜的翘曲度及应力分布测试分析
应用BGS 6341型电子薄膜应力分布测试仪,对硅薄膜翘曲度及应力进行了测试,结合生产工艺对其测试结果加以分析,找出应力产生的各种......
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