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应用BGS 6341型电子薄膜应力分布测试仪,对硅薄膜翘曲度及应力进行了测试,结合生产工艺对其测试结果加以分析,找出应力产生的各种因素,并加以改进,有效地提升工艺生产水平及稳定性.
Si-SiO_2薄膜的翘曲度及应力分布测试分析
【摘 要】
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应用BGS 6341型电子薄膜应力分布测试仪,对硅薄膜翘曲度及应力进行了测试,结合生产工艺对其测试结果加以分析,找出应力产生的各种因素,并加以改进,有效地提升工艺生产水平及
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2003年3期
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