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近年来,引力波探测、表面科学工程、极紫外光刻等前沿领域的迅猛发展,对双频激光干涉仪测量分辨力的需求已从纳米、亚纳米量级提升......
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法,该方法结合双轴机械传输导......
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基于谐波分离修正算法，采用高速可编程器件，构建了一套激光干涉仪误差修正系统。该系统通过校准过程建立误差修正方程，并生成修正相位......
