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近年来,引力波探测、表面科学工程、极紫外光刻等前沿领域的迅猛发展,对双频激光干涉仪测量分辨力的需求已从纳米、亚纳米量级提升至数十皮米甚至皮米量级。面对101-100量级测量分辨力需求的新挑战,传统的基于周期/频率/时间差测量的双频激光干涉信号处理方法其测量分辨力难以突破0.1 nm,而近年来日益被重视的正交锁相放大式信号处理方法,尽管其理论上可达到1pm的位移测量分辨力,但是一方面其理论误差模型尚未有效建立,导致其工作参数无法准确设计,另一方面现有正交锁相放大式相位测量技术只能应用在数mm/s以下的