电子回旋共振相关论文
随着科技发展的需要,人们对传感器应用方面的要求越来越高,高灵敏、低成本、易制造的传感器成为研究者努力克服的壁垒。其中石墨烯......
光电传感器作为工业机器的神经元部件,在高速非接触式信息采集和系统响应处理中地位举足轻重。光电类传感器的研究伴随新材料的发......
电子回旋共振放电产生的等离子体在微电子工业中材料加工、空间电推进方面有着广泛的应用。为了研究微波等离子体电子回旋共振的放......
本文介绍各种类型ＥＣＲ等离子体源和工艺研究，以及由此发展形成的几种新型刻蚀技术。
This article describes the various types of EC......
技术的革新使科学家能够以不断增加的步速,从试验、仿真及观测中收集数据,数据容量已从近来的十亿字节、千兆字节,达到现在的万亿......
随着机械工程技术的发展,人们对自动控制过程中的精度要求与速度要求越来越高,而光电传感器具备非接触、可靠性高、高精度、反应快......
该文简要描述了一台频率为2.45 GHz 的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试，表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、......
量子点结构的生长与特性的研究是一项具有重要理论意义和应用价值的课题.近年来,自组装量子点的生长与研究越来越受重视,而自组装......
随着纳米工程技术的发展，通过控制原子键合实现特定纳米结构与形貌的表面制造成为研究热点。在电子回旋共振（ECR）等离子体中，电子的运......
等离子体表面改性技术有许多优异的性能，具有广泛的工业应用前景。本论文对各种表面改性方法的优缺点进行了较详细的论述，同时使用微......
多晶硅(Poly-Si)薄膜以其优异的光电性能与较低的制备成本,在能源信息产业中日益成为一种非常重要的电子材料,在大规模集成电路和......
实验上研究He在金属中的行为时,常用He离子注入的方法获得含He样品,然而常规He注入的方法存在注入损伤和He分布局域化、不均匀等问......
采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行......
为粒子加速器提供束流的装置称为注入器.提供的束流能量低于100 keV,流强在mA量级的注入器被定义为低能强流(LEHC)注入器.该种注入......
采用自行设计和加工的微波电子回旋共振装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在......
目的研究在电子回旋共振等离子体辅助法生长GaN时的离子密度对其质量的影响. 方法用朗缪尔探针测量离子密度,用X射线双晶衍射及霍......
根据研制分离作用RFQ和升级改造1MeV ISR RFQ的需要,设计了一台ECR O~+离子源及低能输运(LEBT)系统.低能输运系统使用2个静电透镜......
以C4F8为源气体,Ar为稀释气体,用电子回旋共振化学汽相淀积的方法制作了非晶氟化碳薄膜;使用XPS和FTIR分析薄膜的化学组分和成键类......
研制成功了一台新的高电荷态ECR离子源,该离子源主要为原子物理实验提供各种高电荷态离子束流,是基于中国科学院近代物理研究所14.......
为了经济地考验空间电离层等离子体对处于其中的飞行器表面的作用，需要在地面建立等离子体环境模拟器。本文就是为空间电离层环境模......
