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MEMS单晶硅薄膜疲劳特性研究
微机械电子系统(MEMS)是当今技术领域的热点之一,目前已广泛应用于军事民工等众多领域。MEMS构件在工作中经常承受往复载荷的作用,这......
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微机械电子系统
单晶硅薄膜
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微构件材料力学性能测试方法
随着MEMS的商业化进程,微构件材料力学性能的研究成为越来越重要的一个课题.微小试件的制备、安装、夹持、微驱动、高分辨率的载荷......
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