微构件相关论文
随着MEMS的发展,微构件材料力学性能研究越来越受到国内外研究人员的重视,但是目前测试所得微构件材料的力学性能参数分散性很大,......
微操纵装配作为微机电系统领域理论研究、技术实施以及系统设计集成的一种关键和共性技术手段,长期以来受到学术界和工程界的普遍......
高精度惯性传感器件是航空、航天飞行器中惯导系统的核心部件，其中关键微构件的使用性能直接决定惯导系统的导航精度。该微构件成对......
为满足超声辐射力理论研究与超声微操纵技术实际应用的强烈需求，本文结合国家自然科学基金项目《基于三维可控超声辐射力场的微构件......
MEMS器件在不同的温度环境下的性能和响应特性是不同的,基于微加工技术指导的MEMS传感器件,已经应用于飞机、军事等装备制造业。ME......
微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是基于纳米科技发展起来的新兴前沿技术。在微米量级和纳米量级时,微构件的设计理论和传统机......
为实现微操纵装配过程中微构件的静动态状况的高精度实时监测,推动非接触式微机器视觉检测技术的发展,本文结合国家高科技研究发展......
随着微纳技术的迅速发展,微构件机械的力学特性数据对MEMS结构设计具有重要的影响。传统结构材料的宏观力学性能测试系统不能适用......
