第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系......

通过测量基频光波长为１．０６４μｍ时几个不同掺杂类型和掺杂浓度的Ｓｉ（１００）（２×１）样品表面反射二次谐波强度随温度的变化关系，说明在此波长上二次谐波不是......

一、仪器操作方法1.将灵敏度开关置于1挡,选择开关置于T挡,波长调在所使用波长下,开启电源开关,将仪器预热20min。2.打开样品室上......