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MEMS封装技术
介绍了微机电(MEMS)封装技术,包括晶片级封装、单芯片封装和多芯片封装、模块式封装与倒装焊3种很有前景的封装技术.指出了MEMS封......
期刊
微机电封装
单芯片
多芯片
模块
晶片级
倒装焊
MEMS(microeletromechanical system) packaging
single-ch
集成电路可靠性电迁移评估技术
随着VLSI集成度的提高,金属化互连线的几何尺寸亦不断缩小,电迁移成为更为严重的可靠性问题,电迁移评估技术也越来越多。本文全面......
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电迁移
速度漂移
低频噪声
Trace法
晶片级
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