数字掩模相关论文
在微型光学元件制造中,光刻技术经历了从掩模时代到无掩模时代的发展,随着微机电系统(MEMS)的不断发展,无掩模光刻技术的发展被推......
随着光电子技术的迅速发展，以及光、机、电一体化的发展趋势，对光学系统及其元器件提出了微型化、阵列化与集成化的应用要求。微光学......
本文研究一种可制作微光学元件的DMD数字掩模光刻技术，应用数字化DMD显示器件建立数字光刻实验装置。根据DMD的周期结构的特点并考......
提出了一种新的基于数字微镜的无掩模光刻技术,将以往的模拟掩模发展为数字掩模,为大规模、快速、灵活制作衍射微光学元件开辟了一......
