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数字光刻技术相关论文

实时动态数字光刻技术制作微透镜阵列的研究

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微透镜阵列数字光刻 DMD 实时动态

DMD用于数字光刻成像研究

本文研究一种可制作微光学元件的DMD数字掩模光刻技术，应用数字化DMD显示器件建立数字光刻实验装置。根据DMD的周期结构的特点并考......

学位

数字光刻技术数字掩模灰度微透镜阵列酶刻蚀

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