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损伤密度相关论文

基于杂质元素控制工艺降低熔石英元件损伤密度实验研究

为降低熔石英元件的损伤密度,本文提出了磁流变抛光与HF酸刻蚀组合工艺降低杂质元素含量的方法。对熔石英样品进行磁流变抛光和HF......

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熔石英杂质元素 HF酸刻蚀损伤密度 fused silica contamination HF acid etching damage density

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