HF酸刻蚀相关论文
熔石英玻璃光学性能优良,紫外波段透过率高,广泛的应用于强光光学系统中。在高功率激光辐照下,熔石英光学元件的激光诱导损伤成为......
介绍了熔石英亚表面缺陷(SSD)的深度分布与粒径的量化关系及表面粗糙度的量化,以及杂质引起热破坏、裂纹导致电场增强、缺陷导致机......
为降低熔石英元件的损伤密度,本文提出了磁流变抛光与HF酸刻蚀组合工艺降低杂质元素含量的方法。对熔石英样品进行磁流变抛光和HF......
