扩散屏障层相关硕士博士期刊学术论文

扩散屏障层相关论文

在特定波长下,用四层结构模型模拟了Mo/Si多层膜的软X射线反射率.研究了扩散屏障层dMo-on-Si和dSi-on-Mo对Mo/Si多层膜软X射线反射......

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