研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：teruiandi

【摘要】

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在特定波长下,用四层结构模型模拟了Mo/Si多层膜的软X射线反射率.研究了扩散屏障层dMo-on-Si和dSi-on-Mo对Mo/Si多层膜软X射线反射率的影响.研究发现,扩散屏障层并不总是损害

【作者】

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秦俊岭邵建达易葵范正修

【机构】

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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院研究生院

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2007年2期

【关键词】

：

软X射线多层膜扩散屏障层 MO/SI 反射率模拟 Soft X-ray Muhilayers Interdiffusion barrier Mo

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在特定波长下,用四层结构模型模拟了Mo/Si多层膜的软X射线反射率.研究了扩散屏障层dMo-on-Si和dSi-on-Mo对Mo/Si多层膜软X射线反射率的影响.研究发现,扩散屏障层并不总是损害Mo/Si多层膜的光学性能,通过合理设计dMo-on-Si和dSi-on-Mo厚度,增加dMo-on-Si与dSi-on-Mo的比值,也能提高多层膜的软X射线反射率.

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