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对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其......
随着通迅技术的迅猛发展，微波开关的插入损耗、体积已成为微波控制器件领域 的瓶颈。近几年来随着微机械技术的不断发展，微机械微波......
MEMS开关在结构上类似微型继电器，但具有速度快的优点。微机械开关没有使用PN结或金属结，消除了半导体开关PN结非线性问题和因扩散电......
基于微机械开关结构的电化学传感器是当前微机械加工技术结合传统电化学传感器技术创立的新一代传感器技术,本文研究该交叉学科需......
