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MEMS开关在结构上类似微型继电器，但具有速度快的优点。微机械开关没有使用PN结或金属结，消除了半导体开关PN结非线性问题和因扩散电......
MEMS加速度微开关作为一种集传感器及执行器于一体的惯性器件,不仅能够感知加速度信号,而且受控于加速度阈值来执行开关动作。根据......
通过在共面波导传输线上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS传输线移相器。从三个方面优化了五位分布式......
