依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具......

微动工作台是微机电系统技术研究的关键之一。本论文主要针对磁悬浮式微动工作台的驱动和测量方法展开研究。通过驱动才能给微动工......

随着半导体集成技术,微电子技术等的不断发展,对精密定位技术的要求越来越高。本文对精密定位技术进行了深入研究,设计了一种低输......

磁控型形状记忆合金(Magnetic Shape Memory Alloy, MSMA)是直到1993年才被发现的具有形状记忆功能的智能合金材料,具有磁场驱动下......

六自由度微动工作台为纳米三坐标测量机的重要部件，用于实现工件的精密定位和空间综合误差的硬件修正，要求能实现六自由度的运动且具......

本文结合一种宏观平面3-RRR并联机器人的研制，建立了全柔性微动工作台的模型。设计该柔性机构时，通过采用免装配、无间隙和无摩擦的......

介绍了一个高精度的微动工作台,该工作台以柔性铰链为弹性导轨,并采用了一种新型驱动器作为驱动元件,实现了较高的定位精度。同时......

依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪.重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析.所研制的测量系统具有1......