【摘 要】
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六自由度微动工作台为纳米三坐标测量机的重要部件，用于实现工件的精密定位和空间综合误差的硬件修正，要求能实现六自由度的运动且具有纳米级的运动定位精度。本文首先详细介绍了工作台整体结构的设计思路，导出了微动工作台各自由度运动控制的数学模型；基于力学理论、精度理论等的分析计算和用ANSYS有限元方法校核，确定了关键零部件一柔性铰链的结构参数和柔性铰链的作用点位置；最后对所设计的微动工作台的定位精度进行了
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六自由度微动工作台为纳米三坐标测量机的重要部件，用于实现工件的精密定位和空间综合误差的硬件修正，要求能实现六自由度的运动且具有纳米级的运动定位精度。本文首先详细介绍了工作台整体结构的设计思路，导出了微动工作台各自由度运动控制的数学模型；基于力学理论、精度理论等的分析计算和用ANSYS有限元方法校核，确定了关键零部件一柔性铰链的结构参数和柔性铰链的作用点位置；最后对所设计的微动工作台的定位精度进行了分析，结果表明工作台理论上能达到纳米级的定位精度。
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