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台面工艺相关论文

InAs/GaSb超晶格探测器台面工艺研究（英文）

InAs/GaSb SLs探测器台面刻蚀常用的工艺有干法刻蚀和湿法刻蚀。研究了三种等离子刻蚀气体(Cl2基,Ar基和CH4基)对超晶格的刻蚀效果......

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台面工艺 InAs/GaSb 探测器超晶格干法刻蚀湿法腐蚀台面腐蚀溶液离子刻蚀损伤效果

平面工艺芯片二极管MUR460的封装优化方案

二极管的芯片生产工艺有台面工艺和平面工艺两种,平面二极管芯片由于是在外延硅材料上通过高温生成保护膜及聚酰亚胺保护层,不同于......

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台面工艺平面工艺反型层

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