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声表面波沟槽器件反射栅的离子束刻蚀
<正> 利用数控离子束刻蚀机,在铌酸锂、锗酸铋和石英压电晶片上,溅射刻蚀等深度和深度加权沟槽反射栅,制作了声表面波谐振器和脉冲......
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反射栅
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离子束刻蚀
光阑缝
声表面波
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