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高性能声表面滤波器LiNbO/金刚石的制备及分析
随着第三代通讯技术的发展,声表面波(SAW)器件的使用频率不断提高,从最初的几MHz发展到现在的几GHz。高频应用系统的不断发展显著增......
学位
高性能
声表面滤波器
多层膜结构
铌酸锂薄膜
金刚石衬底
压电薄膜
声表面波器件
取向
射频磁控溅射
反射栅
声速
旁瓣抑制
压电材料
应用系统
响应特性
流量
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