油增压泵油箱清理方法探讨

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【摘要】

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本文叙述了真空镀膜设备中油增压泵油箱体内碳氢化合物的化学清洗方法及其反应机理。 This paper describes the chemical cleaning method and reaction mechanism of hydr

【作者】

：

徐树松路雅萱林洋

【机构】

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深圳大学反光材料研究所,深圳大学反光材料研究所,深圳大学反光材料研究所

【出处】

：

深圳特区科技

【发表日期】

：

1995年02期

【关键词】

：

油增压泵真空镀膜化学清洗清理方法反应机理油蒸气机械真空泵金属化重铬酸钠金属制品

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本文叙述了真空镀膜设备中油增压泵油箱体内碳氢化合物的化学清洗方法及其反应机理。 This paper describes the chemical cleaning method and reaction mechanism of hydrocarbon in the oil booster pump tank in vacuum coating equipment.

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