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基于CVD方法生长在硅基底上立方碳化硅的拉曼散射研究

来源 :光散射学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhanggh20060363

【摘 要】

：

立方碳化硅(3C-SiC)薄膜通过化学气相沉积(CVD)制备在Si(100)衬底上.本论文主要通过椭偏光谱仪(SE)和拉曼散射仪对3C-SiC薄膜的微观结构和光学性能进行进一步的研究.根据SE的

【作 者】

：

陈帅 谢灯 丘志仁 Tin Chin-Che 王洪朝 梅霆 万玲玉 冯哲川 

【机 构】

：

物理科学与工程技术学院,广西相对论天体物理重点实验室,光电子材料与探测技术实验室,广西大学,南宁530004;华南师范大学光电子材料与技术研究所,广州,510631;中山大学光电材料与技术国家重点实验

【出 处】

：

光散射学报

【发表日期】

：

2016年2期

【关键词】

：

3C-SiC spectroscopic ellipsometry Raman scattering thickness 

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立方碳化硅(3C-SiC)薄膜通过化学气相沉积(CVD)制备在Si(100)衬底上.本论文主要通过椭偏光谱仪(SE)和拉曼散射仪对3C-SiC薄膜的微观结构和光学性能进行进一步的研究.根据SE的分析获得3C-SiC薄膜厚度;根据拉曼散射的分析:可从TO模式和LO模式的线形形状的拟合得到样品的相关长度和载流子浓度.结果表明:该碳化硅(3C-SiC)薄膜质量随膜厚度增加而得到提高,同时分析了外延层厚度对薄膜特性的影响.

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