【摘 要】
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文中从理论和实验分析了热处理条件对溅射法制得的InSb薄膜特性的影响。热处理温度、时间和升降温速率都对薄膜特性有影响 ,通过实验得出了最佳的热处理温度、恒温时间和升降
【机 构】
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文中从理论和实验分析了热处理条件对溅射法制得的InSb薄膜特性的影响。热处理温度、时间和升降温速率都对薄膜特性有影响 ,通过实验得出了最佳的热处理温度、恒温时间和升降温速率。最后讨论了热处理过程中所采用的 3种保护膜
In this paper, the effects of heat treatment conditions on the properties of InSb thin films prepared by sputtering are analyzed theoretically and experimentally. The heat treatment temperature, the time and the rising and falling temperature rate all have the influence on the film characteristic. The best heat treatment temperature, the constant temperature time and the rising and falling temperature rate are obtained through experiments. Finally, the heat treatment process used in the three kinds of protective film
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