【摘 要】
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对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析。在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术
【机 构】
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中国科学院大学材料科学与光电技术学院,电子显微技术联合实验室,北京科技大学冶金与生态学院,北京中科科仪有限公司,
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对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析。在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术(OES)在线分析了等离子体的成分。通过Raman、XRD和SEM分析了沉积样品的成分、晶体结构和形貌。通过在反应气体中加入NH3,并利用载气技术将含有Ni元素的金属有机物引入到沉积区,进行了Ni、N共掺杂沉积。利用XPS以及PL谱分析了掺杂样品的化学价键和光致发光特性,结果发现Ni-N价键的存在以及在800 nm附近的光发射峰。
The simulation and calculation of electron temperature and electron density of the RF plasma jet CVD system designed by ourselves were carried out. The diamond films were prepared under the optimized parameters and the composition of the plasma was analyzed online using Optical Emission Spectroscopy (OES). The composition, crystal structure and morphology of the deposited samples were analyzed by Raman, XRD and SEM. By adding NH3 to the reaction gas and using the carrier gas technology to introduce metal organic compounds containing Ni into the deposition zone, Ni and N co-doping deposition was carried out. The chemical valence and photoluminescence properties of doped samples were analyzed by XPS and PL spectra. It was found that the presence of Ni-N valence bonds and the light emission peak near 800 nm.
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