粘片过程中顶针引起的芯片裂纹解析

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芯片裂纹是半导体器件严重的失效模式之一,由于受裂纹位置及裂纹的严重程度影响,在一定条件下芯片裂纹不易被及时发现,在产品后期焊接或产品工作过程中,裂纹不断延伸,最终导致器件失效,给产品质量及可靠性带来极大隐患。导致芯片裂纹的因素是多方面的,本文本文主要以TO-252封装外型为例,论述在后部加工过程中,由于顶针使用不合理或顶针破损,导致的芯片裂纹进行分析,并通过相关试验进行验证。
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