【摘 要】
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基于弹性和多胞/泡沫固体理论,用近似解析和数值方法研究了带玻璃衬垫的硅多胞/泡沫薄膜压痕问题.研究的重点在于考察接触区的压力分布和压痕临界深度εc,并将计算得到的理论
【机 构】
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北京理工大学理学院,北京理工大学生命科学学院,
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基于弹性和多胞/泡沫固体理论,用近似解析和数值方法研究了带玻璃衬垫的硅多胞/泡沫薄膜压痕问题.研究的重点在于考察接触区的压力分布和压痕临界深度εc,并将计算得到的理论结果与实验结果进行了对比,两者基本一致.为了对这类薄膜结构系统完整性作合理的评估,分析了多胞/泡沫材料变形和破损机理,由此提出了压痕能概念并给出了相应的解析表达式.
Based on the elastic and multi-cell / foam solid theory, the problem of indentation of silicon multi-cell / foam film with glass liner was investigated by using approximate analytical and numerical methods. The emphasis of the study was on the pressure distribution in the contact zone and the critical indentation depth ε c, The calculated theoretical results are compared with the experimental results, and the two are basically the same.In order to make a reasonable assessment of the integrity of the thin-film structural system, the mechanism of deformation and damage of multi-cell / foam materials is analyzed, Trace concept and gives the corresponding analytical expressions.
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