【摘 要】
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PbS能应用于制造激光用的Q转换开关及高效率太阳能吸收薄膜,澳大利亚P.J.Martin等人用1500eV氩离子在真空系统中作整块PbS靶的离子束溅射制取PbS薄膜。 他们用一个2.5cm的Ka
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PbS能应用于制造激光用的Q转换开关及高效率太阳能吸收薄膜,澳大利亚P.J.Martin等人用1500eV氩离子在真空系统中作整块PbS靶的离子束溅射制取PbS薄膜。 他们用一个2.5cm的Kanfman离子源,沉积期间氩压力为1×10~(-4)mmHg,溅射靶是纯度为99.999%的整块PbS盘,靶面上流强密度为10~20mA/cm~2。薄膜沉积在1μm厚的铝基涂层上,此涂层在尺寸为20mm×
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