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该文根据高精度、高反射率表面轮廓的特点,提出了一种轮廓测量方法.该方法采用双光束干涉技术对高精度表面进行非接触性测量.由于在通常的光电接收中存在光电传感器的难以安放问题,本论文采用光的偏振技术,解决了这一问题.测量结果通过计算机通讯技术进行自动处理,绘出表面轮廓.
高精度表面轮廓非接触测量的方法与应用研究
【摘 要】
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该文根据高精度、高反射率表面轮廓的特点,提出了一种轮廓测量方法.该方法采用双光束干涉技术对高精度表面进行非接触性测量.由于在通常的光电接收中存在光电传感器的难以安
【机 构】
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河南科技大学
【出 处】
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洛阳工学院 河南科技大学
【发表日期】
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2002年期
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