Au/Zr/Ti/C体系的热力学计算

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【摘要】

：

金刚石因为其优良的性能而在散热及电子领域具有广阔的应用前景。为了使金刚石薄膜器件性能得到进一步改善,可以使用相图技术对金刚石的金属化工艺进行科学的指导,并对器件使用过程中各相组成变化、中间相形成和消长、界面迁移等组织结构的演变进行模拟和预测,为开发性能稳定可靠的金刚石薄膜器件和选择合理工艺条件提供重要依据。本文针对多种金刚石薄膜的金属化体系进行了热力学研究: 1.采用CALPHAD技术,运用

【作者】

：

李志华

【机构】

：

中南大学

【发表日期】

：

2002年06期

【关键词】

：

金刚石薄膜热力学计算 Au/Zr/Ti/C 金属化二元系端际固溶体二元相图中间相三元系器件使用

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